Ekspresowy produkt VIGOR|Przełącznik przepływu serii VEFS2

Napędzany sztuczną inteligencją,-wysokiej wydajności obliczeniowej (HPC), elektroniką samochodową i aplikacjami Internetu rzeczy, przemysł półprzewodników przechodzi szybką transformację. Ten niezwykły wzrost postawił jednak także nowe wyzwania operacyjne. Ponieważ skala produkcji rozwija się w niespotykanym dotąd tempie, w fabrykach półprzewodników powszechnie stosuje się gazy specjalne wysokiego ryzyka, takie jak silan i fosfina. Jakikolwiek niekontrolowany wyciek gazu spowodowany pęknięciem rurociągu, luźnymi złączami, awarią uszczelnienia lub niewłaściwą instalacją może szybko przerodzić się w poważny incydent związany z bezpieczeństwem, zagrażający bezpieczeństwu personelu, uszkadzający krytyczny sprzęt produkcyjny i powodujący kosztowne nieplanowane przestoje. W tym kontekście wyłącznik nadmiaru przepływu (EFS) firmy VIGOUR, dzięki czysto mechanicznej konstrukcji uruchamiania i wyjątkowej kompatybilności z ultra-wysoką-czystością (UHP), stał się niezbędnym zabezpieczeniem bezpieczeństwa specjalistycznych systemów zasilania gazem, w tym szaf gazowych i VMB, w liniach produkcyjnych półprzewodników na całym świecie.

Podstawową zasadą konstrukcji VIGOR EFS jest wykrywanie nieprawidłowych warunków przepływu i niezawodna reakcja. Gdy awaria rurociągu za rurociągiem skutkuje nagłym i nadmiernym wzrostem przepływu, który przekracza-ustawiony wcześniej krytyczny punkt wyłączenia, urządzenie natychmiast wyzwala sygnał reakcji. Sygnał ten jest przesyłany poprzez otwarcie lub zamknięcie styków elektrycznych we wbudowanym-kontaktonie, który jest następnie synchronizowany i przesyłany do systemu SCADA lub Systemu Monitorowania Gazu (GMS). Zapewniając alerty w czasie-w czasie rzeczywistym i umożliwiając szybkie, automatyczne reakcje, wspiera proaktywne zarządzanie bezpieczeństwem, skutecznie ogranicza potencjalne zagrożenia i zwiększa ogólną niezawodność sieci dostaw gazu.

W procesach produkcji półprzewodników każdy element układu gazowego może stać się potencjalnym źródłem zanieczyszczenia. Nawet drobne cząstki, zanieczyszczenia metaliczne lub adsorpcja powierzchniowa mogą pogorszyć jakość płytek i zmniejszyć wydajność produkcji. Dlatego VIGOR ściśle przestrzega rygorystycznych norm przemysłu półprzewodników, aby zapewnić czystość materiału, czystość powierzchni i stabilność operacyjną.

Jeśli chodzi o standardy materiałowe, VIGOR wykorzystuje wyłącznie stal nierdzewną 316L produkowaną w technologii podwójnego-topienia VIM/VAR. Ten zaawansowany proces metalurgiczny znacznie redukuje wtrącenia metaliczne i resztkowe zanieczyszczenia, zapewniając doskonałą odporność na korozję i minimalizując ryzyko zanieczyszczenia gazami. W celu obróbki powierzchni wszystkie produkty poddawane są zaawansowanemu elektropolerowaniu (EP), zachowując chropowatość powierzchni wewnętrznej na poziomie 5–10 μin. Takie gładkie, czyste wnętrze zapobiega adsorbowaniu cząsteczek gazu na wewnętrznych ściankach i eliminuje wytrącanie się cząstek, zapewniając stabilne i wolne od zanieczyszczeń- dostarczanie gazu.

Co więcej, VIGOR EFS oferuje szeroki wybór krytycznych punktów wyłączania i elastyczne opcje konfiguracji, aby dopasować się do różnych scenariuszy zastosowań. Dzięki prostemu dopasowywaniu parametrów użytkownicy mogą łatwo określić dokładny model w oparciu o określone rodzaje gazu, warunki ciśnienia roboczego i maksymalne dopuszczalne natężenia przepływu. Ten wysoki stopień dostosowania zapewnia precyzyjną i niezawodną- ochronę przed przepełnieniem w różnych zastosowaniach związanych z gazami o ultra-wysokiej-czystości w nowoczesnej produkcji półprzewodników.

  Przełącznik przepływu do zastosowań o dużym przepływie

 Dostępne z poziomą lub pionową linią główną

 Minimalny spadek ciśnienia w urządzeniu

 Stal nierdzewna SS 316L