Ceny tego samego kawałka rurki ze stali nierdzewnej 316L mogą się różnić kilkukrotnie. Sekret nie leży w grubości ściany, ale w wewnętrznej powierzchni. Im wyższa wymagana czystość gazu, tym większe wymagania stawiane wewnętrznej „powłoce” rury. Trzy oznaczenia AP, BA i EP reprezentują trzy zdefiniowane w branży standardy klasyfikacji wewnętrznych powierzchni rur.
▌Klasa 1: AP – Podstawowy gatunek obrabiany mechanicznie
Rury AP (wytrawianie kwasem) poddawane są trawieniu kwasem w celu usunięcia zgorzeliny i zanieczyszczeń, co skutkuje stosunkowo szorstką powierzchnią wewnętrzną. Przeznaczony jest do przemysłowych rurociągów gazowych ogólnego przeznaczenia. Jego zalety to niski koszt i krótki czas realizacji, odpowiedni do zastosowań, w których wymagane są luźne cząstki i zanieczyszczenia, takich jak zwykłe linie przepłukiwania sprężonym powietrzem i azotem.
▌Grade 2: BA – Gatunek wyżarzany jasnowyżarzony o wysokiej czystości
Rury BA (wyżarzanie jasne) są wyżarzane w atmosferze wodoru lub pod próżnią, tworząc na ich powierzchni gęstą warstwę pasywną, osiągającą chropowatość powierzchni wewnętrznej Ra < 0,4 μm. W porównaniu z rurkami AP, rurki BA zapewniają gładsze powierzchnie, doskonałą odporność na korozję i znacznie zmniejszoną adsorpcję cząstek i wilgoci. Jest powszechnie stosowany w transporcie gazu o wysokiej czystości.
▌Grade 3: EP — gatunek premium polerowany elektrolitycznie
Rury EP (elektropolerowanie) są dalej polerowane elektrolitycznie w oparciu o obróbkę BA. Gdy rurka służy jako anoda, piki powierzchniowe rozpuszczają się w elektrolicie, aby wyrównać powierzchnię wewnętrzną, uzyskując chropowatość 5–10 μin Ra (około. 0.13–0,25 μm). Elektropolerowanie zapewnia lustrzanie gładką powierzchnię wewnętrzną, eliminuje resztkowe cząstki metaliczne i zanieczyszczenia powstałe w wyniku procesu, a także generuje bogatą w chrom warstwę pasywną – obowiązkowy wymóg w przypadku rur stosowanych w półprzewodnikowych systemach gazowych o ultrawysokiej czystości.
VIGOR - Dlaczego EP jest obowiązkowe w przypadku półprzewodników
Podczas produkcji płytek nawet drobne cząstki metalu lub cząsteczki wilgoci wypłukiwane ze ścianek rurek mogą powodować defekty płytek. Chropowata powierzchnia działa jak gąbka zatrzymująca brud: pochłania wilgoć i zanieczyszczenia, które z czasem są powoli uwalniane. Natomiast gładka, gęsta powierzchnia EP nie pozostawia miejsca na przyleganie cząstek i wilgoci, co radykalnie skraca czas cyklu czyszczenia i wymiany. Rury EP stanowią pierwszą fizyczną barierę zapewniającą czystość w dystrybucji gazu o ultrawysokiej czystości.
Porównanie trzech klas i odpowiadające im produkty VIGOR
| Stopień | Proces | Chropowatość powierzchni | Typowe zastosowania | Odpowiednik WIGORU |
|---|---|---|---|---|
| Stopień AP | Trawienie i pasywacja kwasem | Stosunkowo szorstki | Ogólne przemysłowe rurociągi gazowe | Seria VTUBE (klasa AP) |
| Stopień BA | Wyżarzanie jasne | Ra < 0,4 µm | Gazy o wysokiej czystości, chemia elektroniczna | Seria VTUBE (klasa BA) |
| Stopień EP | Elektropolerowanie | 5–10 μin. Ra | Półprzewodnikowe obwody gazowe o ultrawysokiej czystości | Seria VTUBE (klasa EP), produkty VUPS o ultrawysokiej czystości |
Warto zauważyć, że gatunek materiału i obróbka powierzchni to specyfikacje skumulowane. Seria VIGOR VUPS o ultrawysokiej czystości: model UB wykorzystuje standardowe podłoże 316L z wykończeniem powierzchni Ra 10/25 μin; model UC został zmodernizowany do przetopionego podłoża 316L z wykończeniem powierzchni Ra 5/7/10 μin. Zarówno czystość materiału, jak i gładkość powierzchni są podwyższone, aby zoptymalizować wydajność powierzchni wewnętrznej. Wybierając rurkę, należy wziąć pod uwagę jedno kluczowe pytanie: jaki rodzaj „powłoki” wewnętrznej powierzchni odpowiada wymaganiom dotyczącym czystości gazu?
