INTEGRATED GAS SYSTEM>>Udostępnianie serii produktów IGS
VIGOR dostarcza zaawansowane zintegrowane systemy gazowe (IGS) zaprojektowane specjalnie do-kontroli gazów o wysokiej czystości w przemyśle produkcji półprzewodników. Nasze rozwiązania łączą innowacyjną inżynierię z rygorystycznymi standardami produkcyjnymi, aby zapewnić niezawodność, zwartość i doskonałą wydajność w krytycznych zastosowaniach.
Cechy produktu
- Stosowany do kontroli gazu w przemyśle półprzewodników
- Modułowa konstrukcja
- Wszystkie elementy są montowane powierzchniowo zgodnie ze standardem SEMI
- Rozmiar wynosi około 1/3 tradycyjnego panelu
- Materiał standardowy SEMl, proces elektropolerowania i spawanie orbitalne
- Uszczelka W i C-opcjonalna
- Podwójnie zapakowane w pomieszczeniu czystym
- Wszystkie produkty, za wyjątkiem „wsporników”, produkowane są zgodnie ze specyfikacją procesu VS001A
Reduktory ciśnienia IGS Seria VIR
1. Maks. Ciśnienie robocze: 150 psig
2. Maks. Temperatura pracy: -40 stopni F ~ 140 stopni F (-40 stopni ~ 60 stopni)
3. Ciśnienie wylotowe: 0 ~ 100 psig
4. Wykończenie powierzchni: Max. 5uin. Ra
5. Materiał: 316L VIM-VAR
6. Gniazdo zaworu: PCTFE (opcjonalnie PFA/Vespel)
7. Przepływ: Cv=0.08
Zawory membranowe IGS serii VID
1. Maks. Ciśnienie robocze: 150 psig
2. Maks. Temperatura pracy: PCTFE 14 stopni F ~ 176 stopni F (-10 stopni ~ 80 stopni); PFA 14 stopni F~302 stopni F (-10 stopni ~150 stopni)
3. Brak projektu ślepego zaułka
4. Mokra powierzchnia jest traktowana EP, Max. 5uin. Ra.
5. Materiał: 316L VIM-VAR
Przetestowano6. 100% helu-na wyciek-
7. Przepływ: Cv=0.1
Zawory sterujące przepływem IGS serii VIM
1. Maks. Ciśnienie robocze: 150 psig
2. Maks. Temperatura pracy: 14 stopni F ~ 302 stopni F (-10 stopni ~ 150 stopni)
3. Uszczelnienie: FKM
4. Mokra powierzchnia jest traktowana EP, Max. 5uin. Ra
5. Przepływ: Cv=0.03
Zawory zwrotne IGS serii VICV
1. Maks. Ciśnienie robocze: 150 psig
2. Maks. Temperatura pracy: 14 stopni F ~ 176 stopni F (-10 stopni ~ 80 stopni)
3. Wykończenie powierzchni: Max. 5uin. Ra
4. Ciśnienie pękania: 0,33 psig
5. Przepływ: Cv=0.2
Podłoża Seria Vlb (uszczelka C-)
1. Pieczęć C-
2. Instalacja nie-stała, zapewniająca efekt uszczelnienia
3. Mokra część jest traktowana EP
4. Wykończenie powierzchni: Max. 5uin.Ra
5. Materiał: 316L VIM-VAR
Podstawowa seria produktów
- Regulatory ciśnienia IGS (seria VIR)
- Zawory membranowe IGS (seria VID)
- Zawory sterujące przepływem IGS (seria VIM)
- Zawory zwrotne IGS (seria VICV)
- Podłoża i wsporniki IGS (seria VIB)
- Uszczelki (seria VIG)
Dlaczego warto wybrać VIGOR IGS?
Nasze systemy stanowią synergię inżynierii precyzyjnej i praktycznego projektowania, zapewniając:
- Efektywność przestrzenna: radykalnie zmniejszony rozmiar panelu.
- Ultra-wysoka czystość: materiały i procesy dostosowane do zastosowań-półprzewodnikowych.
- Elastyczność modułowa: łatwa konfiguracja, rozbudowa i konserwacja.
- Sprawdzona niezawodność: rygorystyczne testy i zgodność ze standardami SEMI-.
W VIGOUR oferujemy coś więcej niż tylko komponenty-zapewniamy zintegrowane rozwiązania, które z pewnością i precyzją wcielają Twoje pomysły w życie.
